Nanocoating Machine je poseban uređaj koji koristi nanotehnologiju da polože nano - filmove na površini ciljanih materijala za poboljšanje njihovih svojstava. Osnovni princip je fizički ili hemijski akumulirati materijale za prevlačenje atomskog ili molekularnog sloja na površinu podloge kako bi se formirao ultraktinski funkcionalni slojevi, obično između 1 i 100 nanometara debljine. Ova precizna kontrola debljine omogućava premaz za održavanje unutarnjeg svojstva materijala podloge, a pružajući nove funkcije kao što su otpornost na koroziju, otpornost na abraziju, otpornost na oksidaciju i optička modulacija.
Ključni tehnološki procesi Nano - mašine za oblaganje:
Površina podloge Pre - Tretman:
Kontaminanti poput ulja i oksida uklanjaju se sa površinske površine podloge površine za čišćenje hemijskog čišćenja (npr., Kiselinske / alkalne otopine) i fizičko čišćenje (npr. Ultrazvučno čišćenje) kako bi se osigurala atomsko čišćenje. Na primjer, čišćenje poluvodiča zahtijeva kontrolira hrapavost površine manje od 50 nm kako bi se izbjeglo oštećenja premaza.
Kontrola vakuumnog okruženja:
Pre - tretirani supstrat postavljen je u vakuumsku komoru (pritisak na 10-3 do 10-6 PA) kako bi se uklonilo smetnje aktivnih gasova poput kisika i vodene pare, sprječavaju da se oksidacija obloženih čestica plinskim molekulama, osiguravajući filmsku grešku u uniformi manje od 3%.
Tehnike tankosti za tanak film:
Iznos fizičkog pare (PVD):
Oni uključuju termičko isparavanje (poput grijanja elektrona za grijanje aluminija da bi se formirao film kroz kondenzaciju) i pljuvanje (visoko - energetski argonski joni bombardiranja ciljeva na atome). Pogodan je za pripremu filmova metala, legura i jednostavnih spojeva, ima visoku čistoću i stabilan proces, a široko se koristi u proizvodnji optičkih filmova (npr. Anti - reflektirajuće kamere).
Kemijski taložnik pare (CVD):
Tanke filmove formiraju hemijskim reakcijama gasovitim reaktantima na površini supstrata, pružajući fleksibilnu kontrolu kompozicije. Nizak - Pritisnilomione taloženje pod pritiskom (LPCVD) izdvaja premaz na velikom supstratu koja se koristi za izolaciju silikonske dioksida na poluvodičkim čipovima; Plazma - Poboljšana depoziti hemijskog pare (PECVD) Depoziti visokih [{3}} filmova gustoće na niskim temperaturama (<50°C) to protect temperature-sensitive flexible electronic devices. Post-treatment and characterization:
Nakon odlaganja, filmovi zahtijevaju daljnji tretman za optimizaciju svojih svojstava, poput žarstva (za poboljšanje kristalnosti) i ion bombardiranja (za denziviranje površine). Skenirajuća elektronska mikroskopija (SEM) koristi se za promatranje površinske morfologije, x - Ray Diffration (XRD) koristi se za analizu kristalne strukture, a prisiljava mikroskopiju (AFM) koristi se za mjerenje površinske hrapavosti (tačnost 0,1 Nm) kako bi se osiguralo da su debljine filma, kompozicija i mehanička svojstva u skladu sa specifikacijama.
Tehničke prednosti opreme za nanočiranje:
Precizna kontrola debljine:
Podešavanjem brzine isparavanja (0,1 do 5 Nm / s) ili broj ciklusa atomskog taloženja sloja, debljine se može precizno kontrolirati iz pojedinog atomskog sloja (0.3 Nm) za mikrone (npr. Za susret sa raznolikim aplikacijama (npr. Zaslon otprikog prsta na ekranu mobitela potreban je 5-10 Nm debljine).
Svestrani sastav:
Može položiti metale (npr. Srebro, zlato), okside (npr. Titanijum dioksid, silionici (poput dijamanta - poput ugljika) i nitrid (kao što su nosili titanijum nitrij) i optičkim poboljšanjem dopinga (poput dodavanja aluminija do silicije za povećanje krutost).
Kompatibilnost podloge:
Da li se stan (npr. Staklo, silikonski refer), zakrivljeni (npr. Objektiv) ili složene 3D konstrukcije (npr. Porosna keramika), taloženje pare može prevladati ograničenja tradicionalnih metoda prevlačenja i postizanje ravnomjernog premaza prilagođavanjem parametara procesa.
Primjene opreme za nanocovanje:
Optičke aplikacije:
Modul kamere koristi više slojeva nanokoatinga (npr. Reflektivni premaz od magnezijuma reflektivni premaz + aluminijski reflektivni premaz) za postizanje vidljive propusnosti veće od 98% i infracrveno prekid veće od 95% za poboljšanje jasnoće slike.
Hidrofobični premazi (kontaktni ugao veći od110 stepeni) na leće za glavu na automobilu smanjuje prianjanje vode i osigurava sigurnu vožnju noću.
Anti - reflektirajuće prevlake na solarnim ćelijama (npr., Cink oksid / titanijum dioksid Bilayer može povećati efikasnost apsorpcije do 15% i doprinijeti uštedu troškova u fotonaponskim industriji. Elektronika i informaciona tehnologija:
Oksidni sloj poluvodiča (silikonski dioksidni film (debljine silikonskih dioksida) izrađen je korištenjem ald tehnologije kako bi se osiguralo prebacivanje tranzistora na GHz.
Premaz od metala od 5G telefonske antene, poput bakrenog / nikla kompozitnog filma, poboljšava efikasnost prijenosa signala i može izdržati testove korozije sa soli za više od 1000 sati.
Vodootporna nanokoating (debljina 50nm) na fleksibilnim pločicama su IP68 vodootporna ocjena, osiguravajući stabilnost kruga u vlažnim sredinama.
Energija i okoliš:
Litijumska - Ion baterija Keramička membrana (Alumina Nano {- Film) poboljšava vlaženje elektrolita i produžava život baterije za 30%.
Carbon - DIDOVIVNI Film (debljina 2 μm) na bipolarnom pločici vodoničnih gorivnih ćelija smanjuje međufacijalna otpornost i može izdržati snažnu koroziju (test krivulje polarizacije<10 μA/cm2).
Nizak ({0}} prevlake emisijljivosti (slojevi metalnog oksida) na građevinskom staklu pružaju izolaciju zimi i odraz topline ljeti, s energetskom efikasnošću od preko 30%.
Biomedicinske aplikacije:
Diamond - u obliku slova u obliku slova (5 mikrona debljine) na umjetnom spoju smanjuje koeficijent trenja na manje od 0,1, minimiziranje upale uzrokovane abrazivnim česticama.
Antibakterijski premaz na površini medicinskih katetera (Silver puštanje titanijum-dioksidni film) učinkovito inhibira bakterijsko adheziju i smanjuje stope infekcije za 60%.
The moisturizing coating on contact lenses (polyethylene glycol polymer film) improves oxygen permeability (>200 dk / t), smanjuje taloženje proteina i poboljšava nosiva udobnost.